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(資料圖片僅供參考)

近日，在鄭東新區中原科技城的哈爾濱工業大學鄭州高等研究院傳出喜訊，其激光智能制造研究所激光微納制造團隊在高功率飛秒激光加工領域實現技術突破。在團隊技術賦能下，一臺200W三波段飛秒激光加工系統集成紅外、綠光、紫外三波段激光輸出能力，綜合性能達國內領先水平，將為航空航天、半導體、新能源等高端制造領域提供關鍵技術支撐。

在實驗室內記者看到，工作人員正在該飛秒激光加工系統前通過電腦進行加工操作。哈工大鄭高院激光智能制造研究所博士后副研究員劉亞楠告訴記者，該激光加工系統中，三波段飛秒激光加工系統可針對不同材料特性動態調整參數，實現“一機多用”的柔性制造能力：“他目前是三波段，在紅外、綠光、和紫外能夠對不同材料吸收率進行精準的加工，尺度主要是在微納結構進行調控，可以在難加工材料、陶瓷、半導體以及航空航天關鍵結構件上進行精密加工。可以在材料表面進行打孔，微納結構的表面制備，以及切割，能達到微米級別。”

劉亞楠還告訴記者，團隊研發的飛秒激光加工技術兼具高能量、高平均功率、高光束質量及卓越穩定性等特點，響應速度與可操作性顯著優于同類產品。同時，對于河南在新能源及半導體領域的發展，將起到積極作用：“目前我們飛秒激光在航空航天領域以及半導體領域應用比較廣泛，比如在航空航天領域我們在氣膜孔上加工，來顯著提升航空發動機的服役溫度和它的效率。河南省是新能源半導體發展非常迅速以及需求量非常大的一個領域，我們在半導體切割以及打孔，新能源的發展方向應用比較廣泛。”

長期以來，高功率飛秒激光加工技術被國外壟斷，設備進口成本高昂且存在技術封鎖風險。本次激光微納制造團隊突破多波段同步控制、熱管理等核心技術，最終實現系統國產化，為我國高端裝備制造產業鏈自主可控提供重要保障。未來，隨著超快激光技術的持續迭代，該系統有望在生物醫療、量子通信等前沿領域拓展應用，助力“中國制造”向“中國智造”加速躍遷。劉亞楠說：“未來我們計劃用高功率飛秒激光加工設備在可穿戴設備，以及新能源器件上進行一個微納結構表面的制備，來提高它們的服役性能。比如說醫療檢測設備，還有牙齒的仿生結構以及骨骼的連接機構上，在我們醫學上應用比較廣泛，我們打算在這個方向著重發展。”

來源 | 鄭州廣播電視臺會面客戶端

關鍵詞： 微納 半導體 高功率 航空航天 哈工大鄭高院